Puslaidininkių arba skystųjų kristalų ekranų gamybos srityje pastaraisiais metais išaugo įrenginių integracija. Gaminant prietaisą, vadinamą labai didelio masto integriniu grandynu, reikalingas smulkus 1 mikrono ar mažesnis modelis. Tokiu gamybos procesu smulkios dulkės arba labai mažas dujų priemaišų kiekis nusėda arba adsorbuojamas ant laidų modelio, todėl sugenda grandinė. Todėl būtina, kad šiose dujose galėtų egzistuoti ir reakcijos dujos, ir didelio grynumo nešančiosios dujos, ty tik kelios dalelės ir dujų priemaišos. Dėl šios priežasties būtina, kad nerūdijančio plieno kapiliarinis vamzdis arba narys naudotų tokias didelio grynumo dujas, o jo vidinis paviršius naudojamas kaip teršalas teršalams skleisti, tik su minimaliu dalelių ir dujų kiekiu. Be inertinių dujų, tokių kaip azotas ir argonas, daugelis dujų, vadinamų specialiosiomis dujomis, taip pat naudojamos kaip dujos puslaidininkių gamybai. Specialiųjų dujų pavyzdžiai yra ėsdinančios dujos, pvz., chloras, vandenilio chloridas ir vandenilio bromidas, ir chemiškai nestabilios dujos, pvz., silosas. Pirmasis reikalauja atsparumo dujų korozijai, o pastarasis reikalauja nekatalizinių savybių.
Iki šiol, siekiant sumažinti dulkių ar vandens nusėdimą ar adsorbciją, puslaidininkių dujoms gaminti naudojamos dalies vidinis paviršius buvo išlygintas, kol jo Rmax paviršiaus šiurkštumas bus 1 mikronas arba mažesnis. Šaltas piešimas, mechaninis poliravimas, cheminis poliravimas, poliravimas arba jų derinys gali būti naudojami kaip vidinio vamzdžio paviršiaus ar dalių išlyginimo metodas. Tačiau labai lygi medžiaga, kurios vertė yra 1 mikronas arba mažesnė, daugiausia gaunama elektrolitiniu poliravimu. Vidinis vamzdžio paviršius ar panašus išlyginamas, tada valomas grynu vandeniu ir išdžiovinamas didelio grynumo dujomis, kad būtų gautas galutinis produktas.
Suvirinimas paprastai naudojamas suvirinant. Taip yra todėl, kad suvirinimas gali užtikrinti didelį vamzdyno stiprumą ir gerą oro sandarumą. Klojant vamzdynus, didelio grynumo inertinės dujos, paprastai argonas, naudojamos kaip apsauginės dujos, o jo vidinis paviršius vamzdynu liečiasi su didelio grynumo dujomis, kad būtų išvengta taršos dalies šildymo ir oksidacijos į aukštą temperatūrą. Be to, vamzdyno klojimo metu vamzdynas valomas didelio grynumo argonu arba azotu, kad pašalintų šias daleles ir vis dar liktų vamzdyje. Kai dujotiekis yra ilgas ir sudėtingas, pvz., Vamzdynas, tai užtrunka nuo kelių dienų iki kelių savaičių. Pastaruoju metu labai reikalaujama sumažinti puslaidininkių gamyklos statybos sąnaudas ir ankstyvą gamyklos veiklą. Siekiant patenkinti šiuos reikalavimus, dabar būtina sutrumpinti valymo laiką.
Be pirmiau minėtų savybių, vamzdis ir didelio grynumo dujų nariai turi turėti suvirinimo galimybes, mechaninėms plomboms reikalingą bendrą plotą ir atsparumą dilimui; kai apdirbamos dalys, pvz., sąnariai, reikalingas Mach silpnumas. Kita vertus, buvo žinoma, kad specialios dujos, turinčios atsparumą korozijai ir nekatalizines savybes, reikalingos puslaidininkiniams vamzdžiams ar panašioms dujoms gaminti, gali būti pagerintos šildant nerūdijančio plieno paviršių taip, kad atmosferoje būtų kontroliuojamas dalinis deguonies slėgis. Verta pažymėti, kad objektyvi dujotiekio medžiaga šioje literatūroje pateikiama kaip SUS 316L nerūdijantis plienas.
Pirmiau minėtas būtinas atsparumas korozijai ir nekatalizinės savybės taikomos ne tik dujotiekiams. Ta pati paklausa taip pat yra pagaminta iš nerūdijančio plieno, naudojamo įvairioje puslaidininkių gamybos įrangoje, iš kurių viena turi smulkių plokštelių apdorojimą. Ypač Austenitic nerūdijantis plienas SUS 316L tipas daugiausia naudojamas kaip vamzdžių ir kitos įrangos narių medžiaga. Japonų Kokai patentų leidinys Nr. 161145/1988 atskleidžia nestandartinį aukštos kokybės austenitinį nerūdijančio plieno plieną iš plieninių vamzdžių, naudojamų švariose patalpose. Nemetaliniai intarpai riboja mangano, silicio, aliuminio ir deguonies kiekio mažinimą, taip sumažindami dalelių susidarymą iš vidinio vamzdyno paviršiaus.
Be to, Japonija paskelbė patentų leidinį Nr. 198463, 1989/, kuriame atskleidžiamas nerūdijančio plieno narys puslaidininkių gamybos įrangai. Šie nariai oksiduoja dujas po nerūdijančio plieno elektrocheminio poliravimo. Tam tikromis sąlygomis ant jo susidaro oksido sluoksnis, kurio storis yra nuo 100 iki 500 angstromų, ir šildomas taip, kad Ni atomų skaičius išorinėje dalyje būtų proporcingas